周期表第13族金属窒化物結晶

Periodic table group 13 metal nitride crystal

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-quality periodic table group 13 metal nitride crystal that is suitable as a substrate of a light emitting device or the like.SOLUTION: A periodic table group 13 metal nitride crystal includes a region in which a difference of an a-axis length obtained from a (300) lattice spacing and an a-axis length obtained from a (120) lattice spacing is at most 1×10Å by a size in which the minimum width becomes at least 1 mm, and it is desirable that a basal surface stacking fault density is usually at most 2,000/cm to exert excellent performance when being used as a substrate of a light emitting device or the like.
【課題】発光素子等の基板として好適な高品質な周期表第13族金属窒化物結晶を提供する。 【解決手段】(300)格子面間隔から求めたa軸長と(120)格子面間隔から求めたa軸長との差が1×10 -4 Å以下である領域を、最小幅が1mm以上となる大きさで含む周期表第13族金属窒化物結晶であって、発光素子等の基板として用いた場合に良好な性能を発揮するためには、基底面積層欠陥密度は、通常2000/cm以下であることが好ましい。 【選択図】なし

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